Electron microscopy shows 'mouse bite' defects in semiconductors
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Electron microscopy shows 'mouse bite' defects in semiconductors
Cornell researchers have used high-resolution 3D imaging to detect, for the first time, the atomic-scale defects in computer chips that can sabotage their performance. The imaging method, which was the result of a collaboration with Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC) and Advanced Semiconductor Materials (ASM), could touch almost ...
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